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Park Systems 帕克原子力显微镜XE15

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产品名称: Park Systems 帕克原子力显微镜XE15
产品型号: Park Systems 原子力显微镜XE15
产品厂商: 韩国Park Systems
产品文档: 无相关文档
简单介绍
    

核心参数: 样品台移动范围:150mm*150mm (可选200mm*200mm) 样品尺寸:直径≤200mm, 厚度≤20mm 定位检测噪声:0.03nm(typical), 0.05nm(maximum) 产地类别:进口仪器

Park Systems 帕克原子力显微镜XE15 的详细介绍

Park原子力显微镜产品特性

Park XE15具备多个特殊功能,是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析师研究晶片等的好选择。

MultiSample™(多重采样TM)扫描器带来便捷样品测量

多样品一次性自动成像

特殊设计的多样品夹头,*多可承载16个独立样品

全自动XY样品载台,行程范围达200 mm x 200 mm。

无轴间耦合提高扫描精度

两种独立闭环XY和Z平板式扫描

平板式和线性XY扫描可达100μm x 100μm,且残余压弯小

整个扫描范围内的异面移动小于2nm

强力扫描器达25μm Z扫描范围

精准的高度测量

Non-Contact™(真正非接触TM)模式延长针尖使用寿命、改善样品保存及精度

其Z扫描频宽是压电管基础系统的10倍

非接触式可降低针尖磨损、延长使用寿命

成像分辨率高于同类原子力显微镜

降低样品干扰,提高扫描精度

提供较佳用户体验

开放式侧面接入,提高样品及针尖更换效率

预对准的针尖安装和轴上俯视法可简单直观地实现激光对准

燕尾锁封片方便镜头拆卸

界面带自动设置功能,方便用户使用

多种模式与选项

综合性测量模式及特性设置

多种可选配件及更新,扩展性能优越

为缺陷分析提供先进电气测量

产品特点

 100um x 100 um扫描范围的XY性导向扫描器

XY扫描器含系统二维弯曲及强力压电堆叠,可使极小平面外移动形成较大的正交运动,并能快速响应,实现精准的样品纳米级扫描。

 柔性导向强力Z扫描器

在强力压电堆叠的驱动及弯曲结构的引导下,其硬度允许扫描器高速竖直运动,较传统原子力显微镜扫描器更加高速。*大Z型扫描范围搭配远程Z扫描器(选配)可延长12μm至25μm。

 滑动连接的超亮二极管头

 通过将原子力显微镜头沿楔形轨道滑动,可轻松将其插入或取出。低相干的超发光二极管头可实现高反射表面的精准成像和力-矩光谱的精准测量。超亮二极管头的波长帮助减轻干扰问题,因此用户在可见光谱实验中也可使用本产品。

 多样品夹头

特殊设计的多样品夹头,*多可承载16个独立样品,由多重采样扫描器自动按顺序扫描。特殊的夹头设计为接触样品针尖预留了边通道。

选配编码器的XY自动样品载台

自动集成XY载台可轻松并精准控制样品的测量位置。XY样品载台的行程范围可配置为150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自动载台使用编码器,可提高样品定位的精度和重复性。编码XY载台工作时分辨率为1 μm,重复率为2 μm。编码Z载台的分辨率为0.1 μm,重复率为1 μm。

 高分辨率数码变焦感光元件摄像头

高分辨率数码感光元件摄像头利用直接同轴光学,具备变焦功能,无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。

 垂直对齐的自动Z载台及聚焦载台

Z载台和聚焦载台可将悬臂啮合到样品表面上,同时确保用户视野清晰稳定。聚焦载台是由软件控制自动运行的,因此满足透明样品及液态元件应用所需精度。

 弯曲基底解耦XYZ扫描器

Z扫描器与XY扫描器完全解耦。XY扫描器在水平面上移动样品,同时Z扫描器竖直移动探针。

此配置以极小异面移动,实现了平板式XY扫描。此XY扫描同时还具有高正交性与线性

 底噪声

为探测*小样品的特性,帮助快速运动平面成像,Park Systems设计了业内0.5A以下的*低本底噪声标准设备。使用“零扫描”探测本地噪声数据。

 真正非接触模式延长针尖使用寿命

 XE系列原子力显微镜已成功搭配强力Z扫描系统独有的真正非接触模式。真正非接触模式下,使用的是相吸而非相排斥的内部原子力。 

真正非接触模式因此成功地保持了针尖样品纳米级间距,改善了原子力显微镜图像,保持针尖的锐利,因此有效延长了针尖使用寿命

 预对准悬臂支撑

预先安装在探针支撑上,因此不需要严格对齐激光束。

 高分辨率的直接同轴光学元件

用户可直接俯视观看样品,操控样品表面,从而很容易就能找到目标区域。高分辨率数码摄像头具备变焦功能,无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。

 DSP控制芯片的XE控制电子元件

原子力显微镜发出的纳米级信号将由高性能Park XE电子元件控制并处理。Park XE电子元件为低噪声设计,配备高速处理单元,可成功实现真正非接触™模式,是纳米级成像及电压电流精准测量的理想选择。 

 - 600 MHz、4800 MIPS速度的高性能处理单元

- 低噪声设计,适合电压电流精准测量

-通用系统,各SPM技术均可得到应用

- 外部信号接入模块,存取原子力显微镜输入/输出信号

- *多16个数据成像

- *大数据尺寸:4096 x 4096像素

- 16位ADC/DAC,速度达500 kHz

- TCP/IP连接,隔离计算机接出电噪


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